紫外臭氧清洗机（带加热）
发布时间：2026-01-16 产品型号：SC-UV-I+ 点击：33次
产品型号：SC-UV-I+
产品名称：紫外臭氧清洗机（带加热）
厂商信息：长春乐镤科技有限公司
如果您对我们的产品感兴趣，可电话联系我们详谈。 咨询电话：18844183057
产品名称：紫外臭氧清洗机（带加热）
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SC-UV-I+紫外臭氧清洗机（带加热）是一种干法精细清洗设备，可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）；所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
产品特色 |
指标 |
材质 |
机身整体采用不锈钢材料，耐酸碱、防腐蚀，美观大方 |
结构 |
抽屉式样品台，取、放基板简单、方便 |
气路 |
预留进气接口，丰富设备的清洗种类 |
保护 |
抽屉开合与UV灯工作互锁，避免紫外线伤害 |
计时 |
按键定时器，数显倒计时，放便直观 |
操作 |
清洗工作进程可以任意时间手动终止 |
配件 |
可选臭氧中和器，避免臭氧伤害 |
电气 |
指标 |
清洗波段 |
185nm和254nm |
距离UV灯3-5mm平均光强 |
28~32mW/cm² |
灯管 |
双波低压汞灯 |
灯管功率 |
150W |
照射区域 |
150mm×200mm（基台尺寸：175*225mm） |
可调照射距离 |
5~40mm |
定时器工作范围 |
0~99min99s 具有自动倒计时功能 |
可选控温范围（仅限SC-UV-I+型号） |
室温–200℃（只适用于SC-UV-I+型号） |
机械 |
指标 |
进、出气口 |
进气口：φ8mm，出气口：φ25mm |
设备外型尺寸 |
250mm（W）×300mm（D）×260mm（H） |
托盘外型尺寸 |
160mm（W）×200mm（D）×5~40mm（H） |
产品重量 |
8 KG |
