紫外臭氧清洗机
发布时间：2025-02-19 产品型号：SC-UV-II 点击：36次
产品型号：SC-UV-II
产品名称：紫外臭氧清洗机
厂商信息：长春乐镤科技有限公司
如果您对我们的产品感兴趣，可电话联系我们详谈。 咨询电话：18844183057
产品名称：紫外臭氧清洗机
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SC-UV-II型紫外臭氧清洗机
紫外臭氧清洗机：是一种干法精细清洗设备，可用于清洗各种单晶基片，以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）；所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
技术指标：
参数 |
指标 |
材质 |
内部采用不锈钢材料，耐酸碱、防腐蚀，美观大方 |
结构 |
抽屉式样品台，取、放基板简单、方便 |
气路 |
预留进气接口，丰富设备的清洗种类 |
保护 |
抽屉开合与UV灯工作互锁，避免紫外线伤害 |
计时 |
按键定时器，数显倒计时，放便直观 |
操作 |
清洗工作进程可以任意时间手动终止 |
可选配件 |
可选臭氧中和器，避免臭氧伤害 |
电气 |
指标 |
清洗波段 |
185nm和254nm |
距离UV灯3-5mm平均光强 |
28~32mW/cm² |
灯管 |
双波低压汞灯X2 |
灯管功率 |
300W |
灯管尺寸 |
300mm×300mm |
照射区域 |
300mm×300mm（基台尺寸305×340mm） |
可调照射距离 |
5~60mm |
定时器工作范围 |
0~99min99s 具有自动倒计时功能 |
机械 |
指标 |
进、出气口 |
进气口：φ8mm，出气口：φ50mm |
设备外型尺寸 |
长（ 430mm）×宽（ 380mm）×高（ 320mm） （含臭氧中和器的尺寸为）长580mm×宽380mm×高420mm
|
重量 |
26KG |
