PCE-22-LD是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达 150℃。此款设备可用 于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗 SEM＆TEM,紫外对聚合物改性等。

紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别清洗手段，特别适合清除一些有机化合物，紫外灯主要发出两种波长的光：185nm 和 254nm，其中 185nm 的光可把空 气中的氧气变为臭气，254nm 可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）。所以这两种波长的 光组合可有效的清除有机化合物。

产品特点

仅室内使用；海拔高度 5500 英尺以内；

温度范围：5-40℃；

最大相对湿度 80%，最高 30.5℃，40℃线性降至 50%相对湿度； · 主电源波动不超过额定电压的 10%；

污染等级 2；臭氧水平（环境）测量＜45ppb

去除分子级别的污染物

清洗 MEMS 器件

清洗各种基片，如 si,Ge,GaAs 和各种氧化物单晶基片

技术指标：

腔体＆样品台参数：

不锈钢壳体

抽屉式样品台，以便放样取样（如下图 1）

基片台尺寸：310mm*320mm

臭氧通风装置安装在腔体上

样品台与紫外灯的距离：20mm-40mm 范围内可调（图 2） · 样品台可以加热，最高温度可达 150℃

可设置 8 段升降温程序，控温精度为+/-1℃

照射设定时间：1min-9999min

触摸屏参数：

一个 4.5 英寸的触摸屏控制设备的加热以及清洗功能

点击触摸屏上的“温控程序”即可进入程序设置界面，内置温控仪 表采用 PID方式调节，可设置 30段升温程序，设备只显示 8 段升温程 序，可根据实际要求进行添加

设备加热前需进行预热处理

排气口参数：

直径为 80mm的排气口安装在仪器后端

请将铝波纹管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外

橡胶管长度 8 米

紫外灯参数：

UV灯管：210W

功率：55W

发出光的波长：254nm 和 185nm

照射区域：200*200mm

可以清洁直径最大为 12 英寸×35mm的晶体晶片

电源：AC 220V 50HZ/60hz

功率：最大 1000W（加热功率为 800W）

外形尺寸：550mm（L）*520mm（W）*335mm（H）

重量：约 30KG