等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

技术指标：

频率：13.56MHz

射频最大功率：50W(高中低段可调)

石英腔室尺寸：直径：74mm 深度：185mm

整机尺寸：220mm(H)X254mm(W)X205mm(D)

整机重量：6KG

流量计及压力表头(选配)：0-160ml/min    0Pa-大气压

机械泵(选配)：3L