匀胶机 涂胶机
发布时间:2022-09-16 产品型号:KW-4T 点击:452次
产品型号:KW-4T
产品名称:匀胶机 涂胶机
厂商信息:长春乐镤科技有限公司
如果您对我们的产品感兴趣,可电话联系我们详谈。 咨询电话:18844183057
产品名称:匀胶机 涂胶机
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KW-4T匀胶机(涂胶机)用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO 导电玻璃 等工艺,制版的表面涂覆,具有转速稳定和启动迅速等优点,保证涂胶厚度的 一致性和均匀性。
技术参数及要求:
基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圆片,最大 100×100mm2方片
转速:250-9000RPM
旋涂设置:任意阶段之间均可任意升降调节
转速稳定性:<±1%
旋涂均匀性:<1%
旋涂工艺阶段:6 段
旋涂时间:单步工艺 0-1800s,可根据客户需求调节
整机尺寸(长宽高):210mm×280mm×248mm
裸机尺寸(长宽高):210mm×280mm×155mm
电机功率:40W
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料
配套无油真空泵参数:
型号:KW-550A/KW-550T
抽速:1.5 升/秒
抽气速率:>60L/min
功率:320W
噪音:50db
最低真空度:-700mmHg
重量:7.3Kg
尺寸(长宽高):240mm×160mm×230mm