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多功能数字式四探针测试仪

发布时间:2018-10-07  产品型号:LP-ST2258A  点击:674次
产品型号:LP-ST2258A
产品名称:多功能数字式四探针测试仪
厂商信息:长春乐镤科技有限公司
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 LP-ST2258A型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。

 

特点:

主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;电压电流全自动转换量程;测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能,最大分类10类。

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

 

探头选配:

根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头,也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

 

测试台选配:一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选SZT-K型测试台,也可选配SZT-D型测试台以测试半导体粉末电阻率,选配SZT-G型测试台测试橡塑材料电阻率。

 配ST2553-F01探头测硅片

       

配ST2558B-F01测ITO膜

       

基本技术参数:

1. 测量范围、分辨率(可向下拓展1~3个数量级,括号内为向下拓展3个数量级)

     电    阻:1.0×10-3 ~ 200.0×105  Ω,    分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×10 Ω

                (1.0×10-6 ~ 200.0×102  Ω,    分辨率0.1×10-6 ~ 0.1×102 Ω)

     电 阻 率:1.0×10-3 ~ 200.0×103 Ω-cm  分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×10 Ω-cm

                (1.0×10-6 ~ 200.0×101 Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ~ 0.1×10 Ω-cm)

     方块电阻:5.0×10-3 ~ 100.0×10Ω/□  分辨率0.5×10-3 ~ 0.1×103  Ω/□

                (5.0×10-6 ~ 100.0×10Ω/□  分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×101  Ω/□)

2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

   直    径: SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm,手持方式不限

   SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm,手持方式不限.

   长(高)度:  测试台直接测试方式 H≤100mm,    手持方式不限.

   测量方位:  轴向、径向均可

3. 量程划分及误差等级

满度显示

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

200.0

常规量程

kΩ-cm/□

Ω-cm/□

mΩ-cm/□

最大拓展量程

Ω-cm/□

mΩ-cm/□

μΩ-cm/□

基本误差

±2%FSB

±4LSB

±1.5%FSB

±4LSB

±0.5%FSB±2LSB

±0.5%FSB

±4LSB

4) 工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W

5) 外形尺寸:W×H×L=215mm×85mm×190mm

      净   重:≤1.5~2.0kg

 

仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。