气体质量流量控制器
发布时间:2017-04-20 产品型号:S48 32/HMT 点击:489次
产品名称:气体质量流量控制器
厂商信息:长春乐镤科技有限公司
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S48 32/HMT气体质量流量控制器特点:
可以任意角度安装
良好的线性——多段线性补偿
快速的响应
电磁阀使用寿命≥100万次
对零点漂移有效的控制
良好的选择性
全球化的零配件供应——传感器、分流器、精密元器件日本进口
S48 32/HMT气体质量流量控制器技术规格:
编号 |
项目 |
S48 32/HMT |
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1 |
流量规格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min |
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2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
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4 |
安装角度 |
任意 |
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5 |
流量控制范围 |
2%~100% |
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6 |
流量测量范围 |
0~100% |
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7 |
响应时间 |
2s(T98,设定值的±2% F.S.) |
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8 |
工作环境温度 |
5℃~50℃ |
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9 |
精度保证温度 |
15℃~35℃ |
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10 |
精度 |
±1.0%F.S. |
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11 |
线性精度 |
±0.5%F.S. |
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12 |
重复性 |
±0.2%F.S. |
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13 |
工作压差 |
~5L/min (50~300)kPa(D) |
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14 |
耐压 |
3MPa |
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15 |
泄漏率 |
1×10-8 Pa•m3/s (He) |
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16 |
接触气体材料 |
316L,PTFE,Viton氟橡胶 |
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17 |
管路接头 |
Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ |
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18 |
供电电源 |
±15VDC(±5%) +15V<100mA,-15V<150mA |
+24VDC(宽电压+11~+25V), |
19 |
设定信号 |
(0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ |
4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) |
20 |
流量输出信号 |
(0~5)VDC 负载能力≤3mA |
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21 |
电气接头 |
D-SUB15,D-SUB9 |
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22 |
重量(kg) |
0.9 |
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